課程概述與目標：了解半導體元件與積體電路製程技術與流程，相關物理機制、應用、產業技術發展現狀，以及晶圓製造業從業人員之所應具備專業態度與倫理。

第01週

半導體與積體電路之發展史

第10週

薄膜沉積-化學氣相沉積

第02週

積體電路製程與設備概述

第11週

薄膜沉積-物理氣相沉積 (1)

第03週

矽晶圓之製作

第12週

薄膜沉積-物理氣相沉積 (2)

第04週

微影製程技術 (1)

第13週

化學機械研磨

第06週

蝕刻製程技術

第15週

VR系統操作與沉浸式體驗 (2)_高真空磁控濺鍍機

第07週

摻雜製程技術-擴散植入

第16週

VR系統操作與沉浸式體驗 (3)_光罩對準機

第08週

摻雜製程技術-離子佈植

第17週

VR系統操作與沉浸式體驗 (4)_反應式離子蝕刻機

第09週

期中考

第18週

期末考

課程類別

■創新教學課程 ■創新創業課程 □程式設計課程 ■STEM 領域課程 □技優領航計畫 □技專校院下世代人才培育課程 □教學實踐研究計畫 □其他(服務學習、勞作教育)

類別內容

■教材創新 ■教學內容具適當設計思考 ■教學內容符合創新實踐 □增進學生對邏輯運算及程式設計之基本認知 □培養學生運用程式設計解決真實問題 ■工程、製造及營建領域

外語教學

■全程外語教學 □EMI(以全英語授課)未達70%

課程融入聯合國永續發展目標(SDGs)

□SDG1(消除貧窮) □SDG2(消除飢餓) □SDG3(健康與福祉) □SDG4(教育品質) □SDG5(性別平等) □SDG6(淨水與衛生) □SDG7(可負擔及清潔能源) ■SDG8(就業與經濟成長) ■SDG9(工業、創新與基礎建設) □SDG10(減少不平等) □SDG11(永續城市) □SDG12(責任消費與生產) □SDG13(氣候行動) □SDG14(水中生態) □SDG15(陸地生態) □SDG16(和平、正義與強大機構) □SDG17(致力於永續的夥伴關係) □無連結

教學方式

■講授 ■小組討論 □實作 □業界專家協同 □參訪 □網路教學   (請複選至少兩項以上)

成績評量

出席:20% 出席(17-18 週):%  考試:20%  作業或報告:20%  口頭報告:30%  彈性教學:%  其他:10% Interaction, note-taking, or asking questions

教材

■指定教科書（遵守智慧財產權觀念,不得不法影印、下載及散布!）
Self-compiled textbook
■參考資料（遵守智慧財產權觀念,不得不法影印、下載及散布!）
Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control – Gary S. May, Costas J. Spanos

培養學生基本能力及專業能力指標項目

²核心能力： □語文表達與溝通 □資訊素養與科技 ■實務技能與創新 □團隊合作與倫理

²通識能力： ¤藝文賞析與生活應用  ¤生命體驗與身心保健  ¤社會責任與人權法治  ¤科學應用與環境趨勢

²專業能力： ■數理基礎 □實驗分析 □智聯應用 ■製程應用 □專案協作 □工程解題 ■永續影響 ■倫理創新

²展現能力： ¤敬業態度與情緒管理  ¤自我特質與生涯定向  ¤公民品德與服務學習  ¤優勢發展與職能展現